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半导体激光器生产工序

半导体激光器生产工序
半导体激光器的生产工序主要包括以下几个步骤:
1. 半导体材料生长:通过分子束外延(MBE)、金属有机化学气相沉积(MOCVD)等方法,在半导体晶片上生长出激光所需的半导体材料。

2. 肖特基结构制备:通过工艺步骤,包括光刻、蚀刻等,将半导体材料制作成肖特基结构,形成p-n结。

3. 超晶格、波导结构制备:通过掺杂、蚀刻等工艺,制作超晶格结构和波导结构,以实现激光的增益和光导。

4. 花键制备:通过光刻、蚀刻等工艺,制作花键结构,用于连接激光芯片和外界光纤。

5. 芯片封装:将激光芯片封装到金属、塑料或其他材料的封装盒中,以保护激光器并提供电气连接。

6. 测试:对生产的激光器进行严格的测试,包括光谱测试、功率测试、温度特性测试等,以确保激光器的质量和性能符合要求。

7. 器件配对和组装:将具有相同性能的激光器芯片进行配对,并进行组装,以提高输出功率和可靠性。

8. 制造中的质量控制:在整个制造过程中,实施质量控制措施,包括检查和测试材料、工序和最终产品,以确保制造出高质量的激光器。

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