构，这是光伏电池制作的基础。
作业步骤
1. 开始正常生产 2. 开始选定的作业项目 3. 结束选定的作业项目 4. 结束所有项目 5. 删除项目信息 6. 重新发送项目到系统
作业步骤介绍----正常生产
1，激活石英舟，验证舟的ID，类型，状态和承载位置
作业步骤介绍----正常生产
l 2，选择炉管,
潜在错误源
机械方面 破碎的硅片 舟未放对位置或方向、位置偏离 有物体妨碍器件移动 传感器方向偏离（在出现冲突后） 工艺方面 气体流量超出范围（MFC或供应出现故障） 温度超出范围 材料突然改变 软件方面 有人做了某些改动，但其他人员不知道谁改的，改 了什么地方
l 故障处理
如何对一个错误做出反应
l POCL3
安全---磷化物
防护措施
避免直接接触！
存放在有强制通风系统保护的气柜。 防护手套、防护服。 面罩或者眼罩与呼吸器联合使用。
l POCL3
安全---磷化物
临时处理措施
一旦起火，不能使用水或含水剂去灭火，可以使用干粉、 二氧化碳灭火器或者沙子。 如果不慎吸入：新鲜空气，休息，半直立放置，如有必要 ，可进行人工呼吸。 除去受到污染的衣物、用大量的清水冲洗皮肤、脸、眼等 部位或者进行冲淋。 呼叫医生。
Thank you！
指令集使函数更简单。
l 硅片载卸操作
硅片操作的防范措施
避免硅片划伤、沾污、破碎的方法
保持工作区空旷、无障碍物； 每个工作区仅保留一位操作人员； 坚持使用真空镊子、吸笔； 稳重操作 避免片盒和片架、舟的震动； 如有可能，尽量使用柔软表面的盒子； 避免由摩擦造成的划伤（硅片之间或硅片与其他表面之间）； 不要急；
1. 2. 3. 4. 5. 6.
确认J&R 与 CMI上的错误信息， 删除失败的作业项目， 手动把舟移动到存储架2-6上，
重新加载作业信息，别忘了设置舟当前的位置， 重新开始自动运行，
如果有其他作业项目即将结束，CMI会先完成，然后再重新 开始原来重新加载的项目。
l 记录分析及工艺编辑
l 使用软件‘Protgraf’ l “Protgraf”的介绍
扩散工艺介绍
l centrotherm 扩散炉
扩散工艺介绍
通过工艺炉管内的气流
扩散工艺介绍
4 POCl3 + 3 O2 2P2O5 + 5 Si
2 P2O5 + 6 Cl2 4P + 5SiO2
扩散工艺介绍 工艺控制
►温度 ►时间 ►浓度 ►源温
►N2-POCL3流量 ►炉管内的压力
扩散工艺介绍 典型的工艺参数
1，勾选‘set boat to inactive after unloading’
作业介绍----删除作业信息
选择‘delete load information of this boat’
作业步骤介绍----重新开始项目
解决好J&R 操作错误后的步骤
从机台里移走一个工艺: 1. 打开工艺组织界面 2. 在左边选择相应的机台和工艺 3.用箭头‘==>’符号将工艺从机台移走 提示: 在此过程中删除程序并没有风险
工艺编辑
返回历史工艺 如何返回原来的工艺版本？ 1. 打开工艺组织界面 2. 选择所需要的工艺 3. 选择‘view older versions’ 4. 点选所希望的工艺版本并且点击 ‘check out’ 5. 选择 ‘view current recipes’ 6. 点击‘check in’激活旧版本工艺 注意: 任何时间双击均可预览工艺内容
工艺编辑 保存所有数据、备份
工艺编辑
工艺编辑 1. 打开工艺版本管理界面
2. 在机台 POCL1-1上检查所需工艺 3. 进入机台 POCL1-1的输入/输出窗口 4. 输出工艺 5. 编写工艺 （用“edit”按钮启动 GnuEdit 软件) 6. 保存并退出 GnuEdit软件 7. 输入工艺: 正确的工艺输入会显示错误及警告信息，如果有的话 8. 成功输入工艺后返回工艺版本管理界面 9. 重新记录工艺，更改后的工艺会被传送到其他炉管
工艺编辑
编写新工艺或复制工艺的程序
1. 打开工艺版本管理界面 2. 在机台POCL1-1上检查现有的工艺 3. 转到机台POCL1-1的输入/输出界面 4. 输出工艺 5. 复制工艺 6. 编写更改复制后的工艺 (用“edit”按钮启动 GnuEdit) 7. 保存并退出 GnuEdit 8. 输入旧的和新的工艺:正确的工艺输入会显示错误及警告，如果有。
记录分析 正文窗口 – 重要事件
记录分析 所选项目的列表显示
记录分析 发生了什么? – 事件显示
记录分析 图形显示- 全部
记录分析 图形显示 – 放大
工艺编辑 启动软件‘CCC-RM’
工艺编辑 工艺组织、传送
工艺编辑 工艺版本管理
工艺编辑 工艺编写的输入输出
工艺编辑 用‘GnuEdit’软件进行工艺编写
CESAR 手动操作 手动开启工艺
CESAR 组成菜单 用于高级操作的代表性项目 Manual/Gas
Manual/Bubbler Manual/Boat
Service/Recovery/Handling（复位）
Service/InitDevices（初始化） Service/Calibration/EFM horiz（校准）
逻辑布线(控制单元)
系统的逻辑布线
组成结构
组成结构
组成结构
组成结构
组成结构 炉体及气柜(CMS / PLC)
组成结构
扩散工艺流程图
控制器功能
机器控制 CMI 电脑 次级 lift PLC 次级 lift 电动机控制 次级 slider 电动机控制 CESAR 炉管控制器 次级 Reg97 温度控制器 次级 炉管载片控制器 次级气体控制器
l 舟的操作
舟操作时的防范措施
允许放置舟的位置：炉管内，冷却台，装卸台，舟柜。 进入舟承载区域前停止自动操作系统。 注意：舟及其附近可能处于高温，接触前必须先检查温度。 在手动操作时检查： 舟有无损坏、裂纹？ 舟是否干净？ 是否有破损硅片？（即使很小的部分也可能影响操作）
l 故障处理
9. 成功输入后返回工艺版本管理界面 10.重新登记新的（复制后的）工艺. 11.解开第2步开始的工艺锁定.
工艺编辑
工艺组织---将工艺分配到炉管 添加一个工艺到炉管（机台）
1. 2. 3. 3.
打开工艺组织界面 在右边的“pool”里选择我们需要的工艺 在左边选择我们需要的机台 用箭头‘<==’符号将工艺传送到机台
设备控制器
CMI - lift 功能
CMI – 警告及安全
CMI – 警告与安全 CMS -设备安全水平的设定
CMI – 警告与安全 CMS -错误显示与复位
CMI – CESAR的显示及操作界面
CESAR 控制器 炉管载片设备 工艺运行次序
气流, 源瓶, (压力) 工艺温度
每个炉管单独记录
仔细阅读错误信息并记录（错误代码、部件代码、提及内容） 确认错误并停止生产 定位错误源并检查其周围环境
处理错误 检查并改正后尝试“继续”按钮 如果不成功：取消操作并手动将舟及硅片移走
要点：炉门应该尽可能关闭，设定桨位置为0或者手动将其缩回。
l 故障处理—操作失误
如出现以下状况如何处理？
no boat in grip detected / unexpected change of grip state 检查抓手上舟的位置；如有必要，调整使其正常。 boat collision 由于舟位置不正确造成活动抓手的开关倾斜或旋转。 arm movement locked 开始自动操作前先将机械臂移动到中间位置。 boat not correct on paddle 在CESAR菜单，完成service/recovery/handling操作。 检查舟的位置，如果错误再次出现则执行Homing操作。 boat speed out of 2nd tolerance 随着“boat not correct on paddle”出现的潜在错误。
独立式结构: 一个炉管错误不会影响整个机台运行。
CESAR 自动操作 CESAR 自动操作
CESAR 手动操作
手动操作菜单
CESAR 手动操作 所有器件都可以进行手动操作
气体： 设定流量, 开关, 选项 温度： 设定实时值, 设定最终值，温度速率，内部/外部热电偶 舟: 位置, 速度, 复位, 上下 源瓶: 流量，温度，状态
and ‘CCC-RM’进行。
►参数及数据由记录中输入； ►分析图形、曲线数据
l
“CCC-RM”的介绍
►用于编辑工艺
l 记录分析
l Protgraf是最简单的检查、分析记录的方法
l 记录分析
l 用Protgraf开始进行记录分析
记录分析 选择需要列表输出或者图形显示的项目
记录分析 typical screen content of protocol text window
石英舟位置, 承载模式, 舟的状态
作业步骤介绍----正常生产
l 3，检验工艺选择及信息概要
作业步骤介绍----特定生产
1，激活石英舟并定义硅片承载模式
作业步骤介绍----特定生产
l 2，检验石英舟ID，类型，承载位置及状态
作业步骤介绍----特定生产
3，工艺选择及信息概要
作业步骤介绍----结束特定作业
CMS 系统 (Centrothem Machine Safety)
控制器功能
CCC - centrotherm cell control
► 保存所有连接的CESAR and CMI的备份 ► 所有记录的存储中心 ► 遥控服务的通道 ► 工艺的设计和组织 ► 记录的评估和分析 ► 舟的计算/ 系统生产信息的通路 ► 认知的基础: 保存了所有的介绍、文件、设备信息等 ► 备份中心: CD + DVD 记录器, 软件备份