FEI Quanta 250FEG 场发射扫描电镜的原理及操作
发射扫描电镜的原理及操作
目录
场发描电镜的原理
一、射扫
二、Quanta 250 FEG的基本操作
二
一、场发射扫描电镜的原理
11
1.1场发射扫描电镜的原理
一、场发射扫描电镜的原理
电子枪的种类
一、场发射扫描电镜的原理
热场场发射扫描电镜
束流大较为稳定，亮度高，其常用工作电压5-10kV，一般适合于导电导热性能好的样品
般适合于导电导热性能好的样品另配有BSE探头
冷场场发射扫描电镜
束流小，其常用工作电压（4-15kV），分辨率高，适合导电性较弱，颗粒较小的样品
高适合导电性较弱颗粒较小的样品
一、场发射扫描电镜的原理
电子激发样品可获得多种物理信号
一、场发射扫描电镜的原理
二次电子SE
二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。

携带有样品的表面形貌信息,通常来自样品表面5-50 nm的区域，能量为0-50 eV。

由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多大区别。

所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50-100 Å。

扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。

二次电子产额随原于序数的变化不明要取决于表面形貌
额随原于序数的变化不明显，它主要取决于表面形貌。

一、场发射扫描电镜的原理
背散射电子BSE
背散射电子是指入射电子与试样相互作用经过多次散射后，
重新逸出试样表面的高能电子。

背散射电子的产生范围在1000 Å到1 m深，由于背散射电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征也可用来显示原子序数衬度成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。

MgO MgO SrTiO 3SrTiO 3
（a）image of SE （b）image of BSE
一、场发射扫描电镜的原理
X-特征射线
特征X射线：原子内壳层电子被电离后，由较外层电子向内壳层跃迁产生的具有特征能量的电磁辐射光子。

（应用于DES）
原子核外电子壳层特征X射线能级图。