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硅材料与硅片

普通硅片的核心成分是高纯度的硅。硅材料的生产起始于多晶硅的合成,通过化学方法提纯得到高纯硅。随后,采用定向凝固技术生产出多晶硅锭,或进一步通过物理方法如提拉法和区熔法制备成单晶硅。硅片加工则是一个包括定向、切割、打磨、抛光等步骤的机械加工过程,最终得到精确尺寸和光洁表面的硅片。其中,多晶硅的合成工艺尤为关键,目前主流的生产方法是改良西门子法,其节能降耗显著、成本低且质量高,对环境产生的污染也较小。通过大型多对棒节能型还原炉、导热油循环冷却还炉工艺技术以及还原尾气的干法回收技术等关键技术,实现了多晶硅的高效、环保生产,为普通硅片的制备提供了优质原料。
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