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第6章--压电式传感器


+ + + + + +
y轴方向受力:压力
y轴方向受力:拉力
3.电荷大小分析 (1)在X轴方向上施加外力Fx 纵向压电效应产生的电荷量q为:
Ax q d11 F1 d11F1 Ax
d11为纵向压电常数;
晶体表面产生的电荷与作用力成正比 (2)在Y轴方向上施加外力Fy 横向压电效应产生的电荷量q为:
Ax a d12为横向压电常数 d12 =-d11
4.结论 (1)正或逆压电效应,其作用力(或应变) 与电荷(或电场强度)之间呈线性关系 (2)晶体在哪个方向上有正压电效应,则此 方向上一定存在逆压电效应 (3)石英晶体不是在任何方向上都存在压电 效应。
柔软的压电材料,可根据需要
制成薄膜或电缆套管等形状。
它不易破碎,具有防水性,可 大量连续拉制,制成较大面积
或较长的尺度,价格便宜,频
率响应范围较宽,测量动态范 围可达80dB。
高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆
可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板
压电式脚踏报警器
4 压电半导体
半导体特性 压电性能
压电传感器的特点 1. 是有源传感器(发电型传感器) 2. 压电式传感器具有体积小、质量轻、频响高、信噪比 大等特点。由于它没有运动部件,因此结构坚固、可 靠性、稳定性高。 3. 动态参数的测量
6.1 压电材料 1.石英晶体的压电效应
二氧化硅单晶,也称单晶压电晶体 呈现:六面体的棱状
石英晶体
天然形成的石英晶体外形
第6章 压电式传感器
受力、表面形变
压电器件
电荷
石英晶体的压电效应演示
当力的方向改变时,电荷的极性随之改变, 输出电压的频率与动态力的频率相同;当动态力 变为静态力时,电荷将由于表面漏电而很快泄漏、 消失。
6.1压电式传感器工作原理
6.1 压电效应 1. 压电传感器是力敏感元件,将被测量力、压力、加速 度等转换成压电器件的表面电荷量,以实现非电量的 电测目的。 2. 变换为力的非电物理量,如动态力、动态压力、振动 加速度等,但不能用于静态参数的测量。 3.它是有源传感器(发电型传感器),基于某些材料的压 电效应 4.压电式传感器具有体积小、质量轻、频响高、信噪比大 等特点。由于它没有运动部件,因此结构坚固、可靠性、 稳定性高。
受力、表面形变 电荷
压电器件
1.正压电效应
• 当某些物质沿其某一方向施加压力或拉力时,会产生变形, 此时材料的两表面将产生符号相反的电荷。当去掉外力后, 它又重新回到不带电状态,这种现象被称为压电效应。 • 当外力改变方向,电荷极性随之而改变,这种机械能转变 为电能的现象,称为“顺压电效应”或“正压电效”。 如果压力是一种高频震动,则产生的就是高频电流。
2.逆压电效应
当在某些物质的极化方向上施加电场,材料会产生机械变形。 当去掉外加电场后,该变形也随之消失,这种电能转变为机械 能的现象,称为“逆压电效应”或称“电致伸缩效应”。 如果在压电材料的两个电极面上加交流电压,那么压电片 将产生机械振动。如果是加高频电信号,则产生高频声信号 (机械震动),这就是我们平常所说的超声波信号。
天然形成的石英晶体外形
是各向异性材料,不同晶向具有各异的物理特性
光轴
垂直于晶体截面
垂直于六面体棱面
机械轴
电轴
经过六面体棱线
X轴和Y轴方向,石英 晶体具有压电效应; Z轴(光轴),石英晶 体具有光的双折射效 应
2. 压电效应过程分析
(1)在X轴方向上加压力FX<0(纵向压电效应)
+
在X轴方向上加 拉力FX>0 +
-
应用:在能量转换方面,利用压 电陶瓷将外力转换成电能的特性, 可以制造出压电点火器、移动X 光电源、炮弹引爆装置。
2. 压电效应过程分析 (2)在Y轴方向上加压力Fy<0(横向压电效应)
不在y轴 上产生 电荷
在Y轴方向上加拉力Fy>0(横向压电效应) 当Fy>0(拉力),其效果和Fx<0(压力)相似 当Fy<0(压力),其效果和Fx>0(拉力)相似 应用:新型自行车减震控制器,一般的减振器难以达 到平稳的效果,而这种ACX减震控制器,通过使用压 电材料,首次提供了连续可变的减震功能。
常用压电材料
类 别 材 料 成
SiO2



单晶体、水晶
石英晶体 (人造、天然)
d11=2.31×10-12C/N, 压电系数稳定,固有频率稳定
承受压力 700-1000Kg/cm
压电陶瓷 新型压电 材料 人造多晶体 钛酸钡、锆钛酸 钡、铌酸盐系 压电特性 半导体特性 聚仿氟乙烯 聚氟乙烯
2
-11 压电系数高 d33=190×10 C/N
2. 压电效应过程分析 (3)在Z轴方向上加外力FX<0 无压电效应
•受力方向不同,引起压电晶体切片的不同变形,可在不同表面
上测得电荷
纵向压电效应,压 电片在 x 方向上受
横向压电效应, 压电片在y方向 上受正向应力 则它还在垂直于 x方向的平面上 产生电荷
切向压电效应,压 电片在 y 方向上受
品种多、性能各异 集成压电传感器 质轻柔软、抗拉强度高、不易破 碎、面积大 机电耦合系数高
压电半导体 有机高分子 压电材料
6.2 测量电路
受力、表面形变
压电器件
电荷
压电元件既是敏感元件,又是转换元件
6.2 测量电路
压电晶体的连接方式
(1)并联 压电传感器输出电容及极板上的电荷 分别为单块晶体片的两倍,而输出电 压与单片上的电压相等 C ’ =2C, q ’ =2q. U’=U
正向应力
变形后在垂直于 x 方向的平面上产
切向应力
则在垂直于 x 方向 的平面上产生电
生电荷

- - - - - - - -
+ + + + + +
+ + + + + +
- - - - - - - -
x轴方向受力:压力
x轴方向受力:拉力
+ + + + + +
- - - - - - - -
- - - - - - - -
q d11F
石英晶体切片及封装
石英晶体薄片
双面镀银并封装
石英晶体振荡器(晶振)
晶振
石英晶体在振荡 电路中工作时,压 电效应与逆压电效 应交替作用,从而 产生稳定的振荡输 出频率。
2.压电陶瓷的压电效应
• 多晶铁电体,人造多晶体 • 压电系数高 品种多、性能各异
压电陶瓷外形
3高分子压电材料
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