操作规程编号：LX-FS-A62528
真空退火炉工安全技术操作规程标
准范本
In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior
Can Reach The Specified Standards
编写：_________________________
审批：_________________________
时间：________年_____月_____日
A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
真空退火炉工安全技术操作规程标
准范本
使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。

资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。

1.先送水源,检查水源是否畅通,水压р﹥0.lMPa,否则不准开炉。

2.合上总电源,再合上操作电源。

1.开机械泵,分别打开1号、2号闸门。

2.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128A)测量真空度。

电流为22mA时真空度为10-1Torr(13.3Pa);
电流为84mA时真空度为10-2Torr(1.33Pa);
电流为98mA时真空度为10-
3Torr(0.133Pa)；
电流为10OmA时真空度为10-
4Torr(0.0133Pa)。

5.真空度高于1.33Pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1.33Pa以上。

6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。

7.真空度高于0.133Pa后关闭“热电偶电源”,打开“电离计电源”,用电离计测量真空度。

8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把“PID”调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%～150%,积分时间为6～2.5min,微分时间为5～4min)
9.把电路电源“手动给定”旋钮调到最小,开关打到“自动”位置,把“PID”调节器的“手动”调到最小,开关打到“手动”位置,并接通“PID”电源。

10.电炉送电,调整“PID”的“手动”,使三相电流表的输出指示基本均衡在30～70A。

11.待炉温接近给定值时,把“PID”的炉温控制从“手动”打到“自动”以便进行自动控制。

12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。

如工艺要求控制冷却,即把“PID”由“自动”打到“手动”,靠“手动”调节冷却。

13.350℃以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。

14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。

15.炉温高于150℃时,不准放气和打开炉盖。

16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。

请在该处输入组织/单位名称
Please Enter The Name Of Organization / Organization Here。