1.2 气体系统在制程中的功能
CDA 压缩干燥空
气
GN2 一般氮气
搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 Purge/洁净冲吹
PN2 纯化氮气
Purge/空间填充/超洁净冲吹
其他B-GAS 大宗气体
制程需求/空间填充/超洁净冲吹
S-GAS 特殊气体
制程填充需求/制程需求
1.3 化学系统在制程中的功能
Chemical 化学药品
清洁清洗/制程需求
1.4 真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
吸引搬移 尘屑吸引清洁
1.5 排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
制程转换之高真空建立 制程转换之废气排除 制程使用之废DI/Chemical排放
二、厂务系统使用材质
PN2 纯化氮气
SUS 316L EP
其他B-GAS 大宗气体
SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)
S-GAS 特殊气体
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3 化学系统使用材质
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
溶剂类→SUS 316 BA H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
膨胀水箱
冰水进
板热
冰水出
制程管线
进水
回水
机台冷却
3.2 冰水系统简略流程
大气
冷却水塔 冷却 水
冰水主机 冷媒循环
冰水 回
MAU VAU
冰水
AHU
出 其他空调箱
板热
3.3 纯水系统简略流程
City Water 自来水
多层过滤器
阴/阳离子 交换树脂塔
RO Tank RO进水槽
热交换器
精密滤器 5μM 滤心
Scrubber
GEX
机台出口 Damper
风管
Exhaust
风管
风机
大气
Others Exhaust
机台出口 Damper
风管
风机
Scrubber
大气
3.8 真空系统简略流程
PV
制程机台 使用点
一/二次管 二次盘
真空管路
真空储槽
真空 Pump
HV
配置需求 使用点
开关盒
真空管路
真空 清洁储槽
真空 Pump
厂务系统概述
目录 一、厂务系统功能 二、厂务系统使用材质 三、厂务系统流程
一、厂务系统功能
1.1 水系统在制程中的功能
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
Chill Water 冰水
RW 回收水
CW 自来水
制程机台冷却 补水/清洗/稀释 冷却用冷源/空调用冰水 DI回收/冷凝回收/再生使用 原水/一般用水
PH 调整槽
曝气槽
生物 接触槽
污泥 脱水机
污泥 收集槽
沉淀槽
澄清槽
污泥饼 储槽
运弃
PH 反应槽 聚合物 凝结槽
英文缩写对照
SUCCESS
THANK YOU
2019/8/6
3.9 化学系统简略流程
Chemical
化学品 供应槽车
化学品 储槽
传送系统
供应槽
废液 回收槽
回收管线
使用点
VMB/P
分配系统 化学管路
3.10 废水收集系统简略流程
Drain Pipe
机台 排放点
收集 管线
废水 处理厂
3.11 废水处理系统简略流程
Waste Water Treatment
废水 收集槽
SUCCESS
THANK YOU
2019/8/6
2.6 排水系统使用材质
Drain 一般排水
Solvent 有机排气水
Acid/Ak 酸硷排气水
PVC/PVC SCH80 SUS 304不锈钢管 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA
三、厂务系统流程
3.1 制程冷却水系统简略流程
原水补水
紫外线杀 菌灯
纯水储水槽
CEDI
精密滤器 1μM 滤心
RO 储水槽 逆渗透模块
核子级树脂
精密滤器 1μM 滤心
精密滤器 0.2μM 滤心
制程使用点
3.4 自来水/回收水系统简略流程
自来水
自来水外管
回收水
空气中水份
水表/隔离 阀
供应管线
使用点
冷盘/空调 箱
回收管线
回收水槽
使用点
3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程
CDA
大气 空压机
蓄压槽
初级 过滤器
冷冻式 干燥机
吸附式 干燥机
精密 过滤器
GN2/PN2
大气
氮气 产生器
液氮槽
蒸发器
使用点 减压站
一纯化器
使用点
一/二次管 二次盘
CQC
3.6 其他大宗气体/特气系统简略流程
O2
液氧储槽 蒸发器 减压站 过滤器 纯化器
CQC
He/Ar/Kr/H2…
2.4 真空系统使用材质
PV 制程真空
HV 清洁真空
PVC SCH80/SUS 304 PVC SCH80/SUS 304
2.5 排气系统使用材质
Pump Line 制程高真空
GEX 一般排气
Solvent 有机排气
Acid/Ak 酸硷排气
SUS 316 BA/EP 镀锌螺旋风管 SUS 304全焊式不锈钢风管 不锈钢Teflon Coating风管
2.1 水系统使用材质
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
Chill Water 冰水
RW 回收水
CW 自来水
SUS 304/高压软管 CPVC/PVDF/PFA SUS 304 SUS 304 SUS 304
2.2 气体系统使用材质
CDA 压缩干燥空
气
GN2 一般氮气
SUS 304L AP/BA/316L BA SUS 316L BA/EP
钢瓶/Bundle Trunker
减压站
过滤器
使用点 纯化器 CQC
一/二次管 二次盘
一/二次管 二次盘
Specialty Gas
使用点
钢瓶
Cabinet 气瓶柜
管线
VMB/P 阀箱
管线
使用点
3.7 高真空/排气系统简略流程
Pumping Line
机台制程 Chamber
高真空 管路
真空泵
高真空 管路