PC-Based
DCS 架構圖
DCS 系統
分散系統 集中控制 資料/資訊集中整合 整合度高 系統封閉,
PLC 架構圖
PLC 系統
分散系統 分散控制 需整合系統統整各系統 介面較多 資料須整合系統整合管理 系統封閉, 但現行系統多有開放的架構與介面
PAC
PAC
PAC 系統
EIM (Engineering Information Management)
收集測試及實驗數據進行SPC分析及各種統計手法
Module 自動化系統 (續)
AMHS (Automated Material Handling System)
Tool 間 Lot 自動化傳送 設定最佳路徑, 自動化傳輸
一種透過TCP/IP (Ethernet) 介面, 讓EAP與設備間 可高速交換訊息的通訊協定
GEM – General Equipment Model
驅動設備於各式狀況下去進行特定的動作 這個標準對於EAP來說定義著設備點的狀況
其他 SEMI 標準
Carrier Management, Process Job Management, Control Job Management, Carrier Handoff
EAP 透過半導體設備通用的介面與機台交換資料
HSMS
SECSII
பைடு நூலகம்
GEM
其他 SEMI 所訂定的 Protocol
EIM
AMHS
Tool ToTooAloPl s
SECSII
EAP
MES APC
SECSII
一種固定格式的通訊協定, 讓設備與EAP之間可以 交換訊息
HSMS - High Speed SECS Message Service
Vertex MDA – 紙帶式毒氣偵測器 Drager Detector – 電化學式毒氣偵測器
半導體廠務系統簡介-化學供應系統
化學供應系統
一般化學品供應系統 POU 分配系統 Slurry 供應系統 SC-1 供應系統
半導體廠務系統簡介-機電與附屬系統
機電與附屬系統
冰水系統 PCW 系統 PV 系統 HV 系統 柴油供應系統 天然氣供應系統 一般空調系統
設備應用程式
EAP (Equipment Application Program)
一個介於無塵室內設備與CIM系統之間的界面 透過介面自設備取得資料以提供相關資訊系統應用 降低現場人員的負擔 與AMHS整合, 達成無塵室完全自動化
APC,MES,…
AMHS
EAP System
EAP 介面圖
類似於 PC-Based 的控制器 各個系統模組化設計, 提高可信賴度 可用 PLC 開發語言與高階語言開發程式 應用度更高 可建立資料庫 介面開放
PC-Based
PC-Based controller
整合受控系統的訊號於 PC 板上 一般利用通訊方式控制系統 如 VFD 的控制 圖示的PC-Based 控制器具有 Serial Port 及 DI/O
半導體廠務系統簡介-氣體供應系統
氣體供應系統
Gas Cabinet / Gas Rack 系統 VMB (Valve Manifold Box) / VMP (Valve Manifold
Panel) 系統 Bulk Gas Supply System CQC (Continuous Quality Control) 偵測器系統
半導體廠務系統簡介-水處理系統
水處理系統
DI (UPW)
DI 前段處理系統 DI 中段處理系統 DI 後段處理系統
Reclaim 水處理系統 廢水處理系統
半導體廠務系統簡介-電力系統
電力系統
GIS 氣體絕緣系統 MTRU 主變壓器單元 EPS 緊急發電系統 CPS 動態不斷電系統 HV/LV 高低壓盤供電系統
建立EAP 網路連線, 擷取 Tool 資訊
MES (Manufacture Executing System)
設定與執行製造流程執行 Tool 現況監控, 如Run, PM, Warm S/D, Cold S/D
APC (Advanced Process Control)
收集即時製程參數, 監控Tool狀態 UPC (Pump/Local Scrubber) 資料收集監控
半導體廠 廠務系統自動化
劉聖元
大綱
控制系統分類 半導體廠內自動化系統區分 無塵室自動化系統簡介 半導體廠務系統簡介 廠務監控系統設計 廠務系統自動化整合 廠務系統管理 Q & A
控制系統分類
DCS (Distributed Control System) PLC (Programmable Logic Controller) PAC (Programmable Application Controller)
控制接點, 可控制少量硬體點
半導體廠內自動化系統區分
辦公室自動化系統 Module自動化系統 Facility 自動化系統
MIS - Office Office Automation
CIM - FAB Module Automation
FMCS - Facility Facility Automation
辦公室自動化系統
建立辦公室網路系統 辦公室PC及周邊設備(如印表機,繪圖機,掃瞄器,…)
管理 文件系統, 如郵件, 申請, 簽核, 公佈欄 ERP – 企業資源管理 企業入口網站 廠區網路連線 廠區防火牆管理
Module 自動化系統
建立CIM 網路系統 ( FAB 內相關網路)
半導體廠務系統簡介
半導體廠務系統簡介
主要系統
水處理系統 電力系統 氣體供應系統 化學供應系統 機電與附屬系統 無塵室控制系統
半導體廠務系統簡介
附屬系統
火警探測防護系統 極早期偵煙探測系統 廣播系統 門禁系統 CCTV 影像監視系統 地震偵測系統 LED 電子看板系統 LAU 區域警報系統 SMS 簡訊系統 電話系統