DCC
板热
3.3纯水系统简略流程
City Water 自来水
DM Filter 去除钙镁
Decarbonator
去除CO2
WA Tower 去除碳酸钙
SA Tower 去除碳酸钙
RO Tank RO进水槽
Mixed Bed 去除SiO2
Permeate Pit
逆渗透底槽
RO Unit 逆渗透膜
Safety Filter 过滤器
GEX
机台出口 Damper
风管
Exhaust
风管
风机
大气
Others Exhaust
机台出口 Damper
风管
风机
Scrubber
大气
3.8真空系统简略流程
PV
制程机台 使用点
一/二次管 二次盘
真空管路
真空储槽
真空 Pump
HV
配置需求 使用点
开关盒
真空管路
真空 清洁储槽
真空 Pump
3.9化学系统简略流程
2.厂务系统使用材质
2.1水系统使用材质
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
Chill Water 冰水
RW 回收水
CW 自来水
SUS 304禁油处理/高压软管 CPVC/PVDF/PFA Tube SUS 304 SUS 304 SUS 304
2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管)
冷冻式 干燥机
吸附式 干燥机
精密 过滤器
GN2/PN2
大气
氮气 产生器
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
液氮槽
蒸发器
使用点 减压站
一/二次管 二次盘
CQC
过滤器 纯化器
使用点
一/二次管 二次盘
CQC
3.6其他大宗气体/特气系统简略流程
O2
液氧储槽 蒸发器 减压站 过滤器 纯化器
CQC
He/Ar/Kr/H2…
钢瓶/Bundle Trunker
求
1.3化学系统在制程中的功能
Chemical 化学药品
清洁清洗/湿式蚀刻制程需求
1.4真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
基板吸引般移 尘屑吸引清洁/真空吸笔
1.5排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
Chamber制程转换之高真空建立 Chamber制程转换之废气排除 机台制程使用之废DI/Chemical排放
污泥 脱水机
污泥 收集槽
沉淀槽
澄清槽
污泥饼 储槽
运弃
PH 反应槽 胶羽 凝结槽 Polymer
Pump Line 制程高真空
GEX 一般排气
Solvent 有机排气
Acid/Ak 酸碱排气
SUS 316 BA/EP 镀锌螺旋风管 SUS 304全焊式不锈钢风管 不锈钢Teflon Coating风管(Tefpass)
2.6排水系统使用材质
Drain 一般排水
Solvent 有机排水
Acid/Ak 酸碱排水
厂务系统概述
0.电子厂名言
0.电子厂名言
唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没决定
所以~接下来介绍的在现场都不是绝对的~
1.厂务系统功能
1.1水系统在制程中的功能
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
Chill Water 冰水
RW 回收水
CW 自来水
制程机台冷却 补水/清洗/稀释 冷却用冷源/空调用冰水 DI回收/冷凝回收/再生使用 原水/一般用水
CDA
压缩干燥空气
GN2 一般氮气
PN2 纯化氮气
其他B-GAS 大宗气体
S-GAS 特殊气体
SUS 304L AP/BA/316L BA
SUS 316L BA/EP
SUS 316L EP SUS 316L EP/PH2 有 时 用 双 套 管
(EP/AP)
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3化学系统使用材质
1.2气体系统在制程中的功能
CDA
压缩干燥空气
GN2 一般氮气
PN2 纯化氮气
其他B-GAS 大宗气体
S-GAS 特殊气体
搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 Purge/CDA Backup/洁净冲吹
Purge/空间填充/超洁净冲吹
制程需求/Purge/空间填充/超洁净冲吹
制程Chamber填充需求/干蚀刻制程需
H2除溶膜
H2 M.D. H2去除膜
H2 Cooler H2冷却器
H2 UPW Tank
纯水储槽
回水
3.4自来水/回收水系统简略流程
自来水
自来水外管
回收水
空气中水份
水表/隔离 阀
供应管线
使用点
冷盘/空调 箱
回收管线
回收水槽
使用点
3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程
CDA
大气 空压机
蓄压槽
初级 过滤器
PVC/PVC SCH80 SUS 304不锈钢管 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA
3.厂务系统流程
3.1制程冷却水系统简略流程
原水补水
膨胀水箱
冰水进
板热
冰水出
制程管线
进水
回水
机台冷却
3.2冰水系统简略流程
大气
冷却水塔
冷却水
冰水主机 冷媒循环
MAU
冰水回
RCU AHU
其他空调箱
冰水出
Chemical
化学品 供应槽车
化学品 储槽
传送系统
供应槽
废液 回收槽
回收管线
使用点
VMB/P
分配系统 化学管路
3.10废水收集系统简略流程
Drain Pipe
机台 排放点
收集 管线
废水 处理厂
3.11废水处理系统简略流程
Waste Water Treatment
废水 收集槽
PH 调整槽
曝气槽
生物 接触槽
UV Sterilizer 紫外线杀菌
Heat Exchange 热交换器
Membrane Degasifier
去除O2
回水
UPW Tank 纯水储槽
Cooler 冷却器
UV Oxidizer 破坏有机链
UF Unit 超限过滤膜
P.O.U 使用点
H2W UF Unit
超限过滤膜
H2 Desolve Membrane
减压站
过滤器
使用点 纯化器 CQC
一/二次管 二次盘
一/二次管 二次盘
Specialty Gas
钢瓶
Cabinet 气瓶柜
管线
VMB/P 阀箱
管线
使用点 使用点
3.7高真空/排气系统简略流程
Pumping Line
机台制程 Chamber
高真空 管路
Vacuum Pump
高真空 管路
Scrubber
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
例如溶剂类→SUS 316 BA 例如H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
2.4真空系统使用材质
PV 制程真空
HV 清洁真空
PVC SCH80/SUS 304 PVC SCH80/SUS 304
2.5排气系统使用材质