使用点
一/二次管 二次盘
CQC
3.6其他大宗气体/特气系统简略流程 3.6其他大宗气体/ 其他大宗气体
O2
液氧储槽 蒸发器 减压站 过滤器 纯化器 CQC
使用点
He/Ar/Kr/H2…
钢瓶/Bundle 钢瓶/Bundle Trunker 减压站 过滤器 纯化器 CQC
一/二次管 二次盘
一/二次管 二次盘
使用点
Specialty Gas
钢瓶 Cabinet 气瓶柜 管线 VMB/P 阀箱 管线 使用点
3.7高真空/排气系统简略流程 3.7高真空/ 高真空
Pumping Line
机台制程 Chamber 高真空 管路 Vacuum Pump
Exhaust
高真空 管路
Scrubber
GEX
机台出口 Damper 风管
Safety Filter 过滤器
UV Sterilizer 紫外线杀菌
Heat Exchange 热交换器
Membrane Degasifier 去除O2 去除O2
UPW Tank 纯水储槽
Cooler 冷却器
UV Oxidizer 破坏有机链
UF Unit 超限过滤膜
回水
P.O.U 使用点 超限过滤膜
H2W UF Unit
H2 Desolve Membrane
H2除溶膜 H2除溶膜
H2 M.D. H2去除膜 H2去除膜
H2 Cooler H2冷却器 H2冷却器
纯水储槽
H2 UPW Tank
回水
3.4自来水/回收水系统简略流程 3.4自来水/ 自来水
自来水
自来水外管
回收水
空气中水份
水表/隔离 阀
风管
风机大气ຫໍສະໝຸດ Others Exhaust
机台出口 Damper 风管 风机 Scrubber 大气
3.8真空系统简略流程 3.8真空系统简略流程
PV
制程机台 使用点
一/二次管 二次盘
真空管路
真空储槽
真空 Pump
HV
配置需求 使用点 开关盒 真空管路 真空 清洁储槽 真空 Pump
3.9化学系统简略流程 3.9化学系统简略流程
镀锌螺旋风管
SUS 304全焊式不锈钢风管
不锈钢Teflon Coating风管(Tefpass)
2.6排水系统使用材质 2.6排水系统使用材质
Drain 一般排水 Solvent 有机排水 Acid/Ak 酸碱排水
PVC/PVC SCH80
SUS 304不锈钢管
PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA
冷盘/空调 箱
回收管线 供应管线 回收水槽 使用点 使用点
3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程 CDA/GN2/PN2系统简略流程
CDA
大气 空压机 蓄压槽 初级 过滤器 冷冻式 干燥机 吸附式 干燥机 精密 过滤器
使用点
一/二次管 二次盘
CQC
GN2/PN2
大气 氮气 产生器 液氮槽 蒸发器 减压站 过滤器 纯化器
Drain 排水系统
机台制程使用之废DI/Chemical排放
2.1水系统使用材质 2.1水系统使用材质
PCW 制程冷却水 UPW/DIW 超纯水 Chill Water 冰水/冷冻水 ROW 回收水 CW 自来水
SUS 304禁油处理/高压软管 CPVC/PVDF/PFA Tube
SUS 304
City Water 自来水 DM Filter 去除钙镁
Decarbonator
去除CO2 去除CO2
WA Tower 去除碳酸钙
SA Tower 去除碳酸钙
RO Tank RO进水槽 RO进水槽
Mixed Bed 去除SiO2 去除SiO2
Permeate Pit 逆渗透底槽
RO Unit 逆渗透膜
SUS 316L EP
SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3化学系统使用材质 2.3化学系统使用材质
有机类 化学药品
例如溶剂类→SUS 316 BA
一般酸碱 化学药品
例如H2SO4/NaOH→PVC/CPVC
其他 化学药品
CPVC/PFA/PVDF/PTFE
CDA
压缩干燥空气
搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 Purge/CDA Backup/洁净冲吹
GN2 一般氮气 PN2 纯化氮气 Bulk GAS 大宗气体 Special GAS 特殊气体 Chemical 化学药品
Purge/空间填充/超洁净冲吹
制程需求/Purge/空间填充/超洁净冲吹
制程Chamber填充需求/干蚀刻制程需求
SUS 304
SUS 304
2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管) 2.2气体系统使用材质
CDA
压缩干燥空气
SUS 304L AP/BA/316L BA SUS 316L BA/EP
GN2 一般氮气 PN2 纯化氮气 Bulk GAS 大宗气体 Special GAS 特殊气体
废水 收集槽 PH 调整槽 曝气槽 生物 接触槽 PH 反应槽
污泥 脱水机
污泥 收集槽
沉淀槽
澄清槽
胶羽 凝结槽
污泥饼 储槽
运弃
Polymer
3.1制程冷却水系统简略流程 3.1制程冷却水系统简略流程
原水补水
膨胀水箱
冰水进
板
热
冰水出
制程管线
进水 回水
机台冷却
3.2冰水系统简略流程 3.2冰水系统简略流程
MAU 大 气
冰水回
RCU 冰水主机
冷却水
AHU
其他空调箱
冰水出
冷却水塔
冷媒循环
DCC 板 热
3.3纯水系统简略流程 3.3纯水系统简略流程
清洁清洗/湿式蚀刻制程需求
1.4真空系统在制程中的功能 1.4真空系统在制程中的功能
PV 制程真空 HV 清洁真空
基板吸引般移
尘屑吸引清洁/真空吸笔
1.5排气/排水系统在制程中的功能 1.5排气/ 排气
Pump Line 制程高真空 Exhaust 排气系统
Chamber制程转换之高真空建立
Chamber制程转换之废气排除
1.1水系统在制程中的功能 1.1水系统在制程中的功能
PCW 制程冷却水 UPW/DIW 超纯水 Chill Water 冰水/冷冻水 ROW 回收水 CW 自来水
制程机台冷却 补水/清洗/稀释
冷却用冷源/空调用冰水
DI回收/冷凝回收/再生使用
原水/一般用水
1.2气体&化学系统在制程中的功能 1.2气体& 气体
Chemical
化学品 供应槽车 化学品 储槽 传送系统 供应槽 分配系统
废液 回收槽
回收管线
使用点
VMB/P
化学管路
3.10废水收集系统简略流程 3.10废水收集系统简略流程
Drain Pipe
机台 排放点 收集 管线 废水 处理厂
3.11废水处理系统简略流程 3.11废水处理系统简略流程
Waste Water Treatment
2.4真空系统使用材质 2.4真空系统使用材质
PV 制程真空 HV 清洁真空
PVC SCH80/SUS 304
PVC SCH80/SUS 304
2.5排气系统使用材质 2.5排气系统使用材质
Pump Line 制程高真空 GEX 一般排气 Solvent 有机排气 Acid/Ak 酸碱排气
SUS 316 BA/EP