洁净室内的事例
作业人员通过后，尘埃附着在玻璃上的样子。
浮游粒子
使用 ParticleEyeDCF 统计浮游粒子数量。
纸张的发尘对比
左边是普通纸，右边是无尘纸。
胶带和手套的发尘例子
左边是纸芯胶带的发尘的样子，右边是PVC手套的发尘。
电动工具的发尘例子
左边是电钻发尘的样子。右边是真空泵发尘的样子。
这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品
率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净 的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。
各种条件下微尘状况
1,000
外大气层
大气层
10,000
田园地带
100,000
街市区
1,000,000
工业地带
10,000,000
微尘粒子数(PC/ft3) ≥0.5μ m
大家好
1
•洁净室知识培 训
洁净室的用途……………………………………………1
洁净间基础知识…………………………………………25
洁净室及洁净区洁净度等级……………………………26
目录
洁净室管理四大原则……………………………………29 洁净室(Clean Room)内的注意事项……………………54
洁净室的用途
密封条
外框
热溶胶 （多处加工）
外框 褶皱状滤纸
热溶胶
HEPA Filter高效过滤器—— High Efficiency Particulate Air Filt er

ULPA Filter高效过滤器——

Ultra Low Penetration Air Filter
灰尘是如何去除的呢？
吸尘器排气的例子
吸尘器各地方排气泄漏的样子。
打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子
打喷嚏时瞬间发生的飞沫。
发汗现象
从胳膊发汗条件创造。
吸烟的例子
香烟烟雾的粒子。
运动时产生的尘埃粒子000
轻微运动时产生的尘粒数约
100,000
剧烈运动时产生的尘粒数约
10,000,000
35
25
生产过程产生
——摘自GB50073-2001《洁净厂房设计规范》
一般事务室里拍摄的例子
荧光灯全部消失的场合。
走路时候发尘样子对比
左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子。右边是穿洁净服走路时候发尘的样子。
拍击工作服时产生的尘埃粒子对比
左边是拍击一般的工作服时发尘的样子。右边是拍击洁净服时发尘的样子。
高效过滤器
高效过滤器捡漏 卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压 箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54cm），扫描速度不超 过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声 （即 %LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处经用硅胶堵漏或紧固以后再进 行扫描巡检。检查一个过滤器约为5min 左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶 胶的浓度，注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩。
风量罩
测量送风风速 风量罩主要由三个部分构成:风量罩体、基座、PDA构成. 风量罩体主要用于采集风量,将风汇集至基础上的风速均匀器上.在风速均 匀器上装有热式传感器,热式传感器将风速的变化,再根据基底的尺寸将风 量计算出来.风量罩的显示采用PDA,大屏幕液晶屏显示直观,直接可以得到 风速和风量的数据.操作简单,可以设置记录时间间隔进行连续的参数记录, 以便对数据进行分析.测量和记录的数据被记录在存储卡上,不会丢失,可以 通过计算机的串口将数据传递到PC机上以及做进一步的应用. 风罩的测量技术要求
洁净室的空气净化
新 风
正压 Relief Damper
手持简易型激光粒子计数器
测量空气中微粒的数量 限于体量和重量，手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英 尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为 0.3μ m。通常均可采用电池或交流电工作。 这类产品粒径通道又可分为双通道型，如美国Met One公司生产的HHPC-2型 ，有0.3和0.5μ m及0.5和5μ m两种标准配置。 由于这类产品采样空气量小，测量精度相对较低，但随检测人员移动灵便 ，适用于各种洁净室的监测，判定过滤设备的效率和密封性。这类产品可 存储一定量的采样数据，备有下载软件，均不带打印装置。
尘埃粒子直径的示意图
0.5 μ m 0.0001 0.001 0.01 0.1 1.0 香烟的烟 颜料 10 100 1000 水泥 人的头发 植物孢子 硅砂 花粉 重工业发出的粒子 10000
烟
病毒
细菌
化学物质
尘埃粒直径（单位：μ m）
灰尘又是如何产生的呢？
空气中漏入
原料中带入
7 人员因素造成 8 25 设备运转产生
什么是洁净室？
洁净室Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它 的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内 其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制 。
——摘自GB50073-2001《洁净厂房设计规范》
由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来 越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元 器件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污 染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为
灰尘是如何去除的呢？
95% 90~95% 99.99% HEPA filter CR 99.99% FAN Filter HEPA/ ULPA 工作区域
Pre-filter
Bag-filter
1μm
0.5μm
波浪型隔离体 过滤器介质
0.3μm
0.1μm
外框 滤纸
项目 测量限值/范围 误差 反应时间 校准间隔 技术要求 流量50 –3500 m3/hra 读数的 5 % 90 % 满标度时不到10 s 最多12个月
注：a—测量限值和分辩率取决于所用风罩的尺寸。
压差测定仪表
压差检测 普通洁净室不同级别逐级之间、洁净室与非洁净区之间的微压差一般为5～10Pa， 某些生物洁净室为防止有害物或病毒向外扩散，其进入通路的各个房间之间的负 压差需要维持-10～-30Pa。 根据国家标准GB19489-2004“实验室、生物安全通用要求”的规定：相对于大气 压污染区为-40Pa， 根据国家标准GB50346-2004“生物安全实验室建筑技术规范”的规定：与室外方 向上相邻相通房间的最小负压差为-10Pa。 在各级空气过滤器处，应配置微压差计并与过滤器前后的静压引出管相连，以便 随时监测气流通过空气过滤器的压力降。有些微压差计还备有可调节压差设定的 报警标定值，以便超过规定压差时输出报警信号。