1、排气量
2、排气压力
3、排气含油量
4、排气含尘量 5、排气露点
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制程控制制程控制系统
● GN2系统
CDA
PSA
纯化器
TO 使用点 10m3
PSA
纯化器
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制程控制系统设计
制程控制系统
● CDA系统主要参数：
1、排气量
2、排气压力
3、排气露点
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制程控制系统
● CDA系统自控设计
空压机
过滤器
干燥机
过滤器
tank
干燥机
tank
空压机
空压机
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干燥机 干燥机
过滤器 tank TO 使用点
空压机
空压机
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制程控制系统设计
制程控制系统
● CDA系统主要参数：
制程控制系统设计
制程控制系统
● PCW系统
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制程控制系统设计
制程控制系统
● PCW系统主要参数：
制程控制系统就是对每一个系统进行
自动控制。
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制程控制系统设计
制程控制系统
● CDA系统
过滤器 空压机 tank
制程控制系统设计
控制电盘
马达
真空泵浦 （转子）
水气分离器
水冷却器
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制程控制系统设计
制程控制系统
● GN2系统自控设计
CDA
PSA
纯化器
10m3
PSA
纯化器
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制程控制系统设计
制程控制系统
● PCW系统自控设计-加压、过滤、冷却控制
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制程控制系统设计
设计处教育训练资料
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制程控制系统设计
大纲

制程控制系统概述 CDA控制系统 GN2控制系统 PCW控制系统 PV控制系统
制程控制系统设计
制程控制系统
● PV系统
排气
储 真空机
气
罐
用气点
排气
5m³
CHWS
真空机
CHWR
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● CDA系统自控设计
空压机
过滤器
干燥机
过滤器
tank
干燥机
tank
空压机
空压机
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制程控制系统设计
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制程控制系统设计
制程控制系统
● 概述
无尘室制程系统主要包含：CDA系统、
GN2系统、PCW系统、PV系统；
1、水箱控制
2、加压控制
3、过滤控制
4、冷却控制
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制程控制系统设计
制程控制系统
● PCW系统自控设计-水箱控制
1、出水温度
2、出水压力
3、回水温度
4、回水压力
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制程控制系统设计
制程控制系统
● PCW控制设计主要分二部分：